VIGOR Product Express|VEFS2 seriyali oqim kaliti

Sun'iy intellekt, yuqori unumdorlikdagi hisoblashlar (HPC), avtomobil elektronikasi va narsalar interneti ilovalari tomonidan boshqariladigan yarimo'tkazgich sanoati jadal o'zgarishlarni boshdan kechirmoqda. Biroq, bu ajoyib o'sish yangi operatsion muammolarni ham keltirib chiqardi. Ishlab chiqarish ko'lami misli ko'rilmagan darajada kengayib borayotgani sababli, silan va fosfin kabi yuqori xavfli maxsus gazlar yarimo'tkazgich fabrikalarida keng qo'llaniladi. Quvurning yorilishi, bo'shashgan armatura, muhrning ishdan chiqishi yoki noto'g'ri o'rnatilishi natijasida yuzaga keladigan har qanday nazoratsiz gaz sizib chiqishi tezda jiddiy xavfsizlik hodisasiga aylanishi mumkin, bu xodimlar xavfsizligiga tahdid soladi, muhim ishlab chiqarish uskunalariga zarar etkazadi va qimmatbaho rejadan tashqari ishlamay qolishiga olib keladi. Shu fonda VIGOURning ortiqcha oqim o‘tkazgichi (EFS) o‘zining sof mexanik ishga tushirish dizayni va ajoyib ultra{5}}yuqori{6}}tozalik (UHP) muvofiqligi bilan butun dunyo bo‘ylab yarimo‘tkazgichlar ishlab chiqarishda maxsus gaz ta’minoti tizimlari, jumladan, gaz shkaflari va VMB’lar uchun ajralmas xavfsizlik kafolatiga aylandi.

VIGOR EFS ning asosiy dizayn printsipi g'ayritabiiy oqim sharoitlarini aniqlash va ishonchli javob berishdir. Quvurning quyi oqimidagi nosozlik natijasida oqimning toʻsatdan va haddan tashqari koʻtarilishi, bu oldindan oʻrnatilgan kritik yoʻl nuqtasidan oshib-sa, qurilma darhol javob signalini ishga tushiradi. Ushbu signal o'rnatilgan{3}}qamishli kalitdagi elektr kontaktlarini ochish yoki yopish orqali uzatiladi, so'ngra sinxronlashtiriladi va SCADA tizimiga yoki Gazni kuzatish tizimiga (GMS) yuboriladi. Haqiqiy{5}}vaqtdagi ogohlantirishlarni taqdim etish va tezkor avtomatlashtirilgan javoblarni yoqish orqali u xavfsizlikni proaktiv boshqarishni qo‘llab-quvvatlaydi, potentsial xavflarni samarali tarzda kamaytiradi va gaz yetkazib berish tarmog‘ining umumiy ishonchliligini mustahkamlaydi.

Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida gaz tizimidagi har bir komponent potentsial ifloslanish manbasiga aylanishi mumkin. Hatto mayda zarralar, metall aralashmalar yoki sirt adsorbsiyasi gofret sifatini buzishi va ishlab chiqarish rentabelligini kamaytirishi mumkin. Shuning uchun VIGOR materialning tozaligi, sirt tozaligi va operatsion barqarorligini ta'minlash uchun yarimo'tkazgich sanoatining qat'iy standartlariga qat'iy rioya qiladi.

Materiallar standartlariga kelsak, VIGOR faqat VIM/VAR qo'sh{1}}eritish texnologiyasi orqali ishlab chiqarilgan 316L zanglamaydigan po'latdan foydalanadi. Ushbu ilg'or metallurgiya jarayoni metall qo'shimchalari va qoldiq aralashmalarni sezilarli darajada kamaytiradi, mukammal korroziyaga chidamliligini ta'minlaydi va gaz bilan ifloslanish xavfini kamaytiradi. Sirtni qayta ishlash uchun barcha mahsulotlar 5-10 mikron ichki sirt pürüzlülüğünü saqlab, ilg'or elektropolishingdan (EP) o'tadi. Bunday silliq va toza ichki makon gaz molekulalarining ichki devorlarga adsorbsiyasini oldini oladi va zarrachalar yog'inlarini yo'q qiladi, barqaror va ifloslanishsiz gaz yetkazib berishni qo'llab-quvvatlaydi-.

Bundan tashqari, VIGOR EFS turli xil dastur stsenariylariga mos keladigan muhim sayohat nuqtalarining keng tanlovini va moslashuvchan konfiguratsiya variantlarini taklif etadi. Oddiy parametrlarni moslashtirish orqali foydalanuvchilar aniq gaz turlari, ish bosimi sharoitlari va maksimal ruxsat etilgan oqim tezligiga asoslangan aniq modelni osongina aniqlashlari mumkin. Bu yuqori darajadagi moslashtirish zamonaviy yarimo‘tkazgichlar ishlab chiqarishda turli ultra{3}}yuqori-toza gaz ilovalari uchun aniq va ishonchli oqimdan himoya qilishni ta’minlaydi.

  Yuqori oqim ilovalari uchun oqim kaliti

 Gorizontal yoki vertikal asosiy chiziq bilan mavjud

 Qurilma orqali minimal bosim tushishi

 SS 316L zanglamaydigan po'lat