Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda gazning tozaligi qanchalik muhim?
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda umumiy konsensus
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda{0}}yaxshi o'rnatilgan konsensus ustunlik qiladi: chip ishlashining yuqori chegarasi dizayn bilan belgilanadi, ishlab chiqarish rentabelligining pastki chegarasi esa materialning tozaligiga bog'liq.
Rasm internetdan olingan.
Bitta chip orqasida to'liq gaz ro'yxati
Gofretni tozalash va yupqa plyonka-cho'ktirishdan tortib to eting va dopinggacha, bitta 12-dyuymli gofret uchun ishlab chiqarish jarayoni silan, ammiak, azot triftorid, volfram geksaftorid, vodorod xlorid va boshqalarni o'z ichiga olgan 30 dan ortiq texnologik gazlarni o'z ichiga oladi. Har bir gaz reaksiya kamerasiga juda yuqori tozalikda etkazilishi kerak.
Gaz quvurlariga kiradigan ppb darajasidagi iz aralashmalari (namlik, kislorod, zarrachalar) yupqa plyonka nuqsonlari-va yuzalararo ifloslanishni keltirib chiqarishi va ishlab chiqarish rentabelligini to'g'ridan-to'g'ri pasaytirishi mumkin. Misol tariqasida 3nm jarayonini oladigan bo'lsak, har bir alohida chip yuzlab AQSh dollariga teng; rentabellikning atigi 1% o'zgarishi o'nlab millionlab daromadlarni o'chirish uchun etarli.
Nima uchun "Yuqori tozalik" etarli emas?
Yarimo'tkazgich sanoatida "yuqori tozalik" "jarayon-tayyor" ga teng kelmaydi. Haqiqiy qiyinchilik gaz manbasidan foydalanish nuqtasiga (POU) butun etkazib berish yo'lida - ifloslanishdan xoli gazning tozaligini saqlashdadir.
Bunga erishish uchun uchta asosiy himoya choralari birgalikda ishlaydi:
(1) Materiallarni tanlash: Quvurlar va valf korpuslari asosiy materiallardan elementar gaz chiqarishni minimallashtirish uchun VIM+VAR ikki marta eritilgan 316L zanglamaydigan po'latdan ishlab chiqariladi.
(2) Yuzaki pardozlash: Ichki sirt pürüzlülüğü Ra 0,25 mkm (10 mkn.) dan kam yoki unga teng, zarrachalar yopishishini va namlikning adsorbsiyasini kamaytirish uchun elektropolishing (EP) bilan ishlov berish.
(3) Germetik muhrlanishning yaxlitligi: Geliyning oqish tezligi Tashqi ifloslanishni butunlay blokirovka qilish uchun 1×10⁻⁹ atm·cc/sek dan kam yoki unga teng.
Yarimo'tkazgichli gazni etkazib berish echimlari
VIGOR VUPS Ultra-Yuqori toza mahsulotlar qatori SEMI standartlariga mos keladigan to‘liq gaz yetkazib berish zanjirini qamrab oladi, jumladan, videomagnitofonli metall plomba qismlari,-tozalikdagi diafragma klapanlari va ikkita-bosqichli bosim regulyatorlari.
Barcha mahsulotlar jo'natilishdan oldin 100-sinf toza xonalarida yig'iladi, sinovdan o'tkaziladi va ikki martali sumkali changyutgich-kadoqlanadi. Mijozlar faqat individual klapanlar emas, balki to'liq vilka-va-ultra{6}}yuqori tozalikni ta'minlash tizimidir.
VIGOR mahsulotlari silan, azot triftorid va bor trixlorid kabi muhim texnologik gazlar bilan mos keladigan ko'plab gofret fabrikalarida maxsus gaz etkazib berish tizimlarida va CVD/PVD gaz ta'minoti quvurlarida ishonchli ishlaydi.
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish ifloslantiruvchi moddalarga qarshi cheksiz poygadir - va VIGOURning vazifasi bu poyga uchun eng toza start chizig'ini ta'minlashdan iborat.
