VIGOUR>>Ilg'or gaz yetkazib berish tizimlari bo'yicha ishonchli hamkoringiz
Aniqlik, tozalik va xavfsizlik-bo‘lmagan yuqori{0}}texnologiyali tarmoqlarda ishonchli gaz yetkazib berish asos bo‘ladi. VIGOR global tadqiqot va ishlab chiqarish sektorlarida innovatsiyalar va mahsuldorlikni qo'llab-quvvatlovchi ushbu muhim talablarga javob beradigan keng qamrovli gaz etkazib berish tizimlarini loyihalashtiradi va ishlab chiqaradi.
Maxsus gaz rafi
VGR seriyasi
- Elektron toifadagi quyma gazlarni uzluksiz va uzluksiz xavfsiz ta'minlash-.
- Ixtiyoriy shamollatish va tozalash funktsiyalari, xavfsizlik bosimini kamaytirish.
- 100-sinf toza xonaning payvandlangan yig'ilishi.
- Aloqa interfeysi bilan ixtiyoriy PLC boshqaruvi. Bunga aqlli monitoring platformasi tizimi orqali kirish mumkin.
- Ovozli va vizual signallarga ega yuqori bosim / past bosimli signal, favqulodda o'chirishga qodir.
- Silindr bosimi va boshqa ma'lumotlar uchun sensorli displey.
- Turi: Gazni boshqarish uchun maxsus tokcha
- Material: SS 316L klapanlar va quvur qismlari uchun
- Qo'llaniladigan gazlar: inert gazlar (Ne, Kr, Ar, He va boshqalar)
- Gaz ta'minoti usuli: gaz balloni
- Quvvat manbai: 110~240VAC
- Konfiguratsiyalar: bitta-tsilindrli, ikki-tsilindrli
Maxsus gaz shkafi
VGC seriyasi
- Turi: Maxsus gaz shkafi
- Material: SS 316L klapanlar va quvur qismlari uchun
- Qo'llaniladigan gazlar: Yonuvchan/o'z-o'zidan alangalanuvchi gazlar, korroziv gazlar, zaharli gazlar (masalan, SiH4, HCL)
- Quvvat manbai: 110~240V AC
- Qopqoq: korroziyaga chidamli{0}}payvandlangan po'lat
- Shisha oyna: avtomatik-yopilish
- Egzoz trubkasi: Yuqoriga{0}}o'rnatilgan egzoz trubkasi
- Mahsulot ilovalari: Universitet/tadqiqot laboratoriyalari; Sanoat ishlab chiqarish; Fotovoltaik quyosh energiyasi; Farmatsevtika va biotexnologiya; Yarimo'tkazgichli integral sxemalar ishlab chiqarish
- Dizayn standartlari: SEMI S2 standartlariga mos keladi; Xalqaro qurilish yong'in xavfsizligi qoidalariga mos keladi; Maksimal ish bosimi: sinov bosimining 110%
Gaz tayoqchalari yig'ilishlari
VUP seriyasi
- Barcha gaz etkazib berish tizimlari uchun ultra yuqori toza gaz tayoqchasi
100TG: 30 slp dan kam yoki unga teng 1/4" VFS
200TG: 300 slp dan kam yoki unga teng 3/8" VFS
300TG: 600 slp dan kam yoki unga teng 1/2"VFS
- Mahsulot VS001A texnologik spetsifikatsiyasiga muvofiq ishlab chiqariladi
- Yuqori nazorat aniqligi
- Barcha ulanishlar payvandlangan yoki VFS
- Qo'lda yoki pnevmatik diafragma klapan varianti
- 100% geliy-siz-sinadan o‘tkazildi
- Kirish bosimi P1: 300 psig (20bar)
- Chiqish bosimi P2: Vac - 30/60/100/150 psig (1/2/4/7/10bar)
- Diafragma klapan materiallari: tanasi 316L; PCTFE vana o'rindig'i; Diafragma Elgiloy®
- Regulyator materiallari: tanasi 316L/316L ikkinchi darajali eritish; PCTFE vana o'rindig'i; Diafragma Hastelloy®
- Oqish tezligi: (atmosferaga) 1x10^-9 mbar I/s He;
(o'rindiq orqali) 1x10^-8 mbar I/s H
Bosim nazorat panellari
VUP-1U seriyasi
- Bosimlarni boshqarish panellari (Bir tomonli turdagi)
- VSR-100UBS/UCS seriyali bir bosqichli regulyator
- VDV33UBS seriyali shamollatish diafragmalari klapanlari
- VDV33UBS seriyali kirish jarayoni diafragma klapanlari
- Orbital payvandlangan VFS-yuz muhr ulanishlari
- Modulli dizayn
- 3500 psig (250bar) gacha bo'lgan kirish bosimi uchun javob beradi
- Gaz ballonlari uchun xavfsizlik shkafiga oson o'rnatish
- 100% geliy sızıntısı sinovdan o'tkazildi
- Kirish bosimi P1: maksimal 3500 psig (250bar)
- Chiqish bosimi P2: Vac - 10/30/60/100/150 psig (0,7/2/4/7/10 bar)
- Yuzaki qoplama: 10uin. Ra (25uin. Ra ixtiyoriy)
- Kirish va chiqish joylari: 1/4 "VFS moslamasi
- Harorat diapazoni: -40F dan +160℉ (-40 darajadan +71 darajagacha)
- Oqim hajmi: Cv=0.09 (Cv=0.15 variant)
Mukammallik va xavfsizlik uchun ishlab chiqilgan
Har bir VIGOR gaz yetkazib berish tizimi eng yuqori standartlarga sodiqlik asosida ishlab chiqilgan:
- Dizayn va muvofiqlik:Mahsulotlar SEMI S2 va xalqaro yong‘in xavfsizligi kodlariga mos keladi, ularda favqulodda o‘chirish-va bosim signallari kabi xavfsizlik xususiyatlari mavjud.
- Ishlab chiqarish tozaligi:Oʻrnatish va orbital payvandlash ishlari tizim tozaligi va uzoq umr koʻrishini taʼminlash uchun SS 316L va Hastelloy® C276 kabi yuqori{1}}yaxlit materiallardan foydalangan holda 100-sinf toza xona muhitida amalga oshiriladi.
- Tasdiqlangan yaxlitlik:Har bir qurilma 100% geliy sızıntısı uchun qattiq sinovdan o'tadi, bu esa oqishning qattiq ishlashini kafolatlaydi.
